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SRX模块型高速控制器[过程∕温度控制器]实现了1秒40次的超高速反馈控制（采样周期：0.025秒）。在半导体制造过程中的RTP操作(Rapid Thermal Process：急速加热处理)和需高速升温的控制业中可发挥其最大效用。具备模块式温控器省空间、省配线的特点，可实现整个装置的小型化；另外，维护性能高也是其不容忽视的优点。
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