实现1秒40次的超高速反馈控制! 精度±0.1%、可添加2通道控制处理、多存储功能(通过利用设定变化率限幅器、区域链接、渗透时间实现简易程序控制功能)、级联控制功能、功率前馈功能、2系统通信接口等等各种功能。 最适合用于半导体制造过程中RTP(Rapid Thermal Process:急速加热处理)操作
高速数字温度控制器(温控器) HA900 、 HA400 ,实现了 1 秒 40 次的超高速反馈控制、可支持快速响应控制系统。它不仅取样周期快,而且可把高速响应 PID 参数的积分值 (I) 和微分值 (D) 的设定范围设在『 0.0 ~ 3600.0 秒』或『 0.00 ~ 360.00 』秒之内。
HA 系列 (HA900 、 HA400) 高速温度控制器,一台 表 可实现 2 通道控制。并且 2 通道都实现了 1 秒 40 次的超高速反馈控制,能够支持响应性快的控制对象。
HA 系列 (HA900 、 HA400) 高速温度控制器 ( 温控器 ) ,拥有能有效地利用 1 秒 40 次的超高速反馈控制的高分辨率输入。 数字型控制器将来自各种传感器(热电偶、 Pt 测温电阻 、压力传感器、流量传感器等)连续的模拟信号变换成数字信号,进行内部演算处理后向控制对象的操作器发出控制信号。 为了实现很好的控制,模拟信号 → 数字信号 → 模拟信号的变换处理的分辨率,成为非常重要的因素。即使采用了再高速的取样输入信息,如没有能捕捉细微变化的分辨率,就不会得到好的控制效果。 HA 系列,是支持高速取样的能捕捉细微变化的高分辨率的温控器。 HA 系列 (HA900 、 HA400) 高速温度控制器 ( 温控器 ) ,配备了用于各设定项目的 16 个多存储区。 可存入存储区的对象包括:设定值、事件设定值、比例带、积分时间、微分时间、控制响应参数、设定变化率限幅 [ 上升 ] 、设定变化率限幅 [ 下降 ] 、渗透时间、 链接区号 。 只要很好进行 变化率限幅 [ 上升 ] / [ 下降 ] 、渗透时间、 链接区号的设定 ,即可实现简单的程序控制。